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ULVAC, Inc. 是一家日本公司，隶属于松下电气工业公司，通过其三打子公司开发、制造、销售和服务依赖真空处理室的生产系统和产品。这些产品包括检漏仪、真空蒸发系统、真空计、反应离子蚀刻系统、平板显示系统以及增压泵、旋转泵、干泵、隔膜泵和扩散泵。产品用于半导体制造等领域；冶金，包括精密铸造、感应熔炼和热处理设备的生产；真空泵、真空计、HELIOT检漏仪等真空设备的制造；工业设备如真空冷冻干燥设备、自动检漏仪、真空滚涂设备、和真空蒸馏设备；和电子系统，包括在线平板显示系统，在线硬盘系统，以及光盘和薄膜磁头的生产。ULVAC在中国、德国、印度、日本、马来西亚、新加坡、韩国、中国台湾和美国开展业务，其总部位于马萨诸塞州梅休恩。ULVAC 是一家在东京证券交易所上市的上市公司。
真空技术在20世纪具有商业可行性 真空技术的起源，创造了低于正常大气压的有利条件，起源于1600年代，当时德国贵族奥托·冯·格里克 (Otto von Guericke ) 接受了亚里士多德提出的关于自然界中真空的可能性的问题以及 René的论点笛卡尔认为，如果从容器中取出空气，它只会坍塌。Guericke 发明了空气泵，他用它在一对密封的铜半球内产生真空。然后，他进行了一场戏剧性的公开演示，其中从任一半球拉出的八匹主力马都无法拉开被压扁的球体。然而，当引入空气时，它们很容易分开。 虽然随后制定了真空原理，但直到1900年代，真空技术才发现了它的第一个主要用途：电灯泡。电子随后开始在电子管的生产中使用真空技术，制造商发现了在真空中进行某些工艺的优势。例如，镜片制造商开始在真空条件下处理镜片表面以增加透光率并消除反射，血库在制备等离子体时以及冶金学家在生产钛等活性金属时也是如此。1950年代核能的兴起创造了对真空设备的更大需求，随着微电子的兴起，对真空设备的需求也变得更大。 1952年推出的 ULVAC ULVAC于1952年8月在日本关西（或“西部”）地区由东芝公司的前身东京芝浦电气公司的研究员今町仁博士创立。ULVAC 成立的目的是将大学研究产生的真空技术商业化。今町从五位着名的关西商人各自筹集了100万日元的种子资金：松下电器工业有限公司总裁松下幸之助；Osawa & Co.的Yoshio Osawa；Dainippon Sugar Production Co.总裁Aiichiro Fujiyama；朝日啤酒株式会社社长山本为三郎和日本人寿保险公司社长广濑源。被选为 ULVAC 首任社长的是前京福电铁社长石川佳次郎。
该公司成立了日本真空工程公司，只有少数员工，前两年是美国国家研究公司制造的真空设备的进口商。该公司还启动了自己的研发计划，并于1954年不再是进口商，现在开始为日本市场生产自己的真空设备。 该公司研究工作的关键人物是 Chikara Hayashi，他有朝一日将担任 ULVAC的总裁兼董事长。Hayashi在真空镀膜机协会的 William Sproul 记录的口述历史中提供了日本真空技术早期的一瞥以及 ULVAC的诞生。生于1922年，二战期间就读于东京大学，1944年毕业，被日本海军征召入伍，在那里他参与了双筒望远镜和潜望镜中使用的光学透镜和棱镜的生产。这些物品上的抗反射涂层是使用真空技术生产的。 战后，林重回东京大学核物理系工作。他再次涉足真空技术，用于制造粒子加速器的组件。然而，条件很艰难。“日本被摧毁了，”林告诉斯普劳尔，“所以除了纸和笔外，没有足够的预算来获得足够的材料。实际上，我从被占领的陆军兵工厂得到了一些原材料，并自己用它们来制造真空系统。” 他很快意识到他不能同时制造设备和追求物理。 " 我决定进入这个行业，以帮助发展和[援助]日本经济的复苏，”他说。“第一件事是如何获得资金。这就是我加入 Ulvac的原因。”他被 Ishikawa 招募，Hayashi 记得石川告诉他，“你为什么不加入 Ulvac，因为我保证会为你建立一个真空技术研究所。” Hayashi 是最初的六名员工之一：“一两个主要是资金管理，其余的是技术....... 我从头衔的研发经理和地板和街道的工人开始。”真空技术研究所没有实现，但林并没有过度失望。“我们的目的是帮助日本经济复苏，”他解释道。“所以我没有办法反对。” 几年之内，石川将让他成为总裁，林一直担任该职位直到1971年，之后他成为董事会主席，直到1990年代初70岁退休。他对公司的发展负有主要责任，也是率先将名称从日本真空工程公司更改为 Ulvac的人。“当我担任总裁时，”林告诉 Sproul，“我想，‘技术，技术’。” 我不限于日本，所以我想更改名称。 公司概况： ULVAC于1952年在日本成立，是一家设计、制造和销售用于真空技术工业应用的设备和材料的国际公司。 在成立的前20年里，ULVAC 是一家小公司。即使在运行 ULVAC 时，Hayashi 也能够继续积极参与技术方面的工作。多年来，该公司增加了产生新子公司的能力。1964年，ULVAC 通过拆分一个部门并与美国企业 Reliance Electric and Engineering Company 合作创建了工业机械驱动设备制造商 Reliance Electric Ltd.。同样在1964年，Ulvac 成立了 Shinku Riko，后来更名为 ULVAC-Riko, Inc.，专门从事热分析仪的制造。 此外，在1960年代，Hayashi 参加了在纽约举行的冶金会议在那里他了解了核燃料舱上的离子电镀。Hayashi 认为这是一项“不错的技术”，因此 ULVAC 涉足离子电镀并成立了真空冶金部门。1966年，该公司将该部门剥离出来，创建了 Vacuum Metallurgical Co., Ltd.，最终更名为 ULVAC Materials, Inc.。 在1970年代，Ulvac 也扩展到其他领域。1971年，ULVAC Kiko, Inc.（当时称为 Sinku Kiko）成立，作为小型真空泵、真空设备和外围设备的专业制造商。一年后，它在日本千叶成立了超级材料研究所。正如 Hayashi 回忆的那样，“日本大学的一位教授让我帮忙（支持他开发超导材料）。 但我的公司不是那么强大，很小（1970年），还在学习。所以我去了政府,科学技术机构，并询问那些官员是否可以提供帮助。”他被告知该机构不能直接支持教授，但愿意向公司提供资金，反过来可以与教授合作。因此研究所成立。公司成立了位于特拉华州多佛市的 ULVAC North America Corporation，作为 ULVAC 产品到美国的进口商。 1970年代的其他发展包括1978年与 LC 振荡器（用于日常电路）和光学薄膜制造设备制造商 Showa Shinku Co. Ltd.的联盟。1979年，为 ULVAC 和非 ULVAC 设备提供服务的 ULVAC Service 由 ULVAC Service Department 分拆出来。后来更名为 ULVAC Techno, Ltd.。同样在1979年，通过剥离 ULVAC SI 部门成立了 ULVAC Coating Corporation。它生产用于半导体和平板显示器的硬掩模坯料和薄膜。 子公司与1980年世界经济增长 ULVAC在1980年代增加了许多子公司。1981年成立了两个单位：ULVAC Kyushu Co., Ltd.，以扩大在日本九州地区的销售活动，以及与美国Helix Technology Corporation的合资企业 ULVAC Cryogenics, Inc.制造和销售低温泵。一年后，另一家合资企业 ULVAC-Phi, Inc. 与美国公司 Perkin Elmer Corporation 成立，生产和销售表面分析设备。 ULVAC Seiki Co., Ltd. 成立于1985年，作为关西事业部工厂，两年后在八户成立了 ULVAC Tohoku, Inc.，以补充 UL-VAC的大型设备生产能力。这十年中最重要的发展是1987年5月ULVAC Corporation的成立。该部门作为所有 ULVAC 子公司的营销部门，并为各种业务提供了一种相互共享信息的方式。UL-VAC Corporation 还与 Vacuum Metallurgical Co., Ltd. 合作进行了超细粉末研究。 ULVAC发展时间线： 1952年：公司成立。 1966年：ULVAC Materials, Inc. 成立。 1975年：成立ULVAC北美公司。 1987年：ULVAC Corporation 成立。 1992年：ULVAC Technologies 合并其美国部门。 2003年：第一家中国子公司成立。 2004年：公司上市。 ULVAC在1990年代继续增加其稳定的子公司并微调其运营。该公司于1990年在 Fuji Susono 开设了一家超洁净工厂，以满足半导体制造商对性能更好的制造设备日益增长的需求。1992年在美国成立ULVAC Technologies, Inc.，将ULVAC North America Corporation和美国其他集团公司联合起来，以更好地服务于北美和欧洲的半导体制造商整合销售和服务业务。为更好地支持用户生产技术，ULVAC于1994年1月开设了ULVAC技术支持中心，为提高公司的工业技术能力，于1997年成立了工业工程中心。 一年后开设了采购中心，提高了公司的技术能力。采购操作和物理资源的分配。为了向客户提供 Ulvac 子公司必须提供的全方位服务，ULVAC 解决方案于1998年推出，主要作为联络人。在1990年代结束时，ULVAC 首次开始经营二手设备，并且还成立了另一家合资企业。ULVAC Taiwan与美国Phi合作创建Phi-ULVAC Taiwan，提供表面分析服务。 新世纪伊始，Ulvac 与柯达和三洋电机公司结成技术联盟，共同开发有机发光二极管（OLED）平板制造设备技术，由柯达在1980年代后期首创。虽然美国仍然是 ULVAC的主要市场，但它正在被中国取代。市场前景广阔，Ulvac 不得不在那里建立业务。2003年7月，ULVAC（苏州）有限公司在中国成立。一年后，成立了ULVAC-TTI Technology ( Shanghai ) Corporation，在中国生产和销售控制系统，并成立了ULVAC真空炉（沈阳）有限公司，在中国生产和销售工业真空炉。 ULVAC 也准备在2004年上市。当年4月，完成了首次公开发行股票，公司股票开始在东京证券交易所交易。 主要子公司 阿尔维克公司；阿尔巴克技术有限公司；ULVAC九州公司；ULVAC 东北公司；阿尔巴克精机有限公司；ULVAC 设备销售公司；三光 ULVAC 有限公司；ULVAC 材料公司；ULVAC 涂料公司；ULVAC Cryogenics Inc.；信实电气有限公司；ULVAC苏州有限公司；ULVAC真空炉（沈阳）有限公司；ULVAC中国台湾公司；ULVAC（上海）有限公司；ULVAC Inc.（中国）；ULVAC Technologies Inc.（美国）；ULVAC韩国有限公司；ULVAC GmbH（德国）； 主要竞争对手 Axcelis 技术公司；Intevac, Inc.；瓦里安半导体设备联合公司 |
